การเคลือบฟิล์มบางเป็นการสร้างชั้นฟิล์มระดับนาโนที่มีความบริสุทธิ์สูงบนพื้นผิววัสดุ จำเป็นต้องใช้ระบบสุญญากาศที่เสถียรเพื่อป้องกันการปนเปื้อนและควบคุมความหนาให้แม่นยำ สำหรับงานอิเล็กทรอนิกส์และโซลาร์เซลล์

การเคลือบผิวเลนส์และอุปกรณ์แสง เป็นการเคลือบสารเพื่อตัดแสงสะท้อนหรือกรองแสงบนเลนส์และกระจก อาศัยเทคโนโลยีสุญญากาศขั้นสูงในการยึดเกาะโมเลกุล เพื่อความคมชัดและประสิทธิภาพทางแสงสูงสุด