ในกระบวนการเคลือบผิวและสปัตเตอริง ปั๊มสุญญากาศสร้างสภาวะสุญญากาศที่เหมาะสมในการเคลือบฟิล์มบางบนวัสดุ เช่น แก้ว โลหะ และเซมิคอนดักเตอร์ ความคงที่ของแรงดันช่วยให้ฟิล์มมีความสม่ำเสมอและยึดเกาะดี เหมาะกับงานออปติก ดีไซน์ และอิเล็กทรอนิกส์